截至收盘，上证科创板50成份指数、中证芯片产业指数均下跌0.2%，中证半导体材料设备主题指数下跌1.3%，国证信息技术创新主题指数下跌1.0%。

　　中信证券指出，国内对于光刻机产业链的投资和支持力度持续加大，国产高端光刻机的发展有望获得推动，半导体设备产业链将有望同步受益。