半导体设备公司面临“幸福的烦恼”。芯片制造厂纷纷扩产，设备公司订单增多。但受全球供应链紧张及疫情影响，零部件交付周期一再延长，导致半导体设备交付难度加大。“海外零部件厂商会优先保障本地设备厂商，国内设备厂商只能想办法多下订单，争取多拿一些货。”半导体设备产业资深人士李明（化名）告诉记者。